2020年光刻機唯一上市公司為智光電氣，股票代碼002169。智光電氣主要從事電網(wǎng)安全與控制設(shè)備、電機控制與節(jié)能設(shè)備、供用電控制與自動化設(shè)備及電力信息化系統(tǒng)研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)和銷售。公司已建立了以測控技術(shù)、電力電子技術(shù)、通信技術(shù)和應(yīng)用軟件技術(shù)為基礎(chǔ)的核心技術(shù)平臺，形成了面向電氣控制與自動化前沿領(lǐng)域的產(chǎn)品布局。

智光電氣產(chǎn)品主要包括：新型自動跟蹤補償消弧線圈及選線成套裝置、智能高壓大功率變頻調(diào)速系統(tǒng)、分布式企業(yè)級電氣監(jiān)控與能量管理系統(tǒng)以及電力信息化系統(tǒng)。這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于電力、大中型工業(yè)企業(yè)、市政建設(shè)、基礎(chǔ)設(shè)施等領(lǐng)域，能有效提高電網(wǎng)安全穩(wěn)定性、改善電能質(zhì)量、節(jié)能降耗、提升企業(yè)電氣設(shè)備安全可靠性、提升企業(yè)能源管理水平。公司產(chǎn)品均被列入2007年1月23日國家發(fā)改委、科學(xué)技術(shù)部、商務(wù)部、國家知識產(chǎn)權(quán)局聯(lián)合發(fā)布的《當前優(yōu)先發(fā)展的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化重點領(lǐng)域指南（2007年度）》，其中高壓變頻調(diào)速系統(tǒng)和電氣監(jiān)控與能量管理系統(tǒng)還屬于《十一五規(guī)劃綱要》規(guī)劃的"十大節(jié)能重點工程"。